1. 블랭크마스크
- 블랭크마스크는 반도체 및 디스플레이 공정재료인 포토마스크의 원재료로 패턴이 노광되기 전의 마스크를 의미하며, 석영유리기판 위에 금속박막 필름이 증착되고 그 위에 감광액이 도포된 형태로 이루어져 있습니다.
- 일본 Hoya m/s 70%
- SEMI에 따르면 반도체용 포토마스크 시장은 2019 년에 40 억 달러를 넘어서 2018년에 비해 4 % 증가 할 것으로 전망되고 있습니다. 한편 FPD용 포토마스크 시장 규모는 2019년 8억 달러를 넘어설 것으로 예상되면 2021년까지 연평균 12% 정도 성장하는 것으로 예상됩니다.
- 에스앤에스텍 2019년 블랭크마스크 매출 840억원
- SKC가 일본 의존도가 90% 이상인 반도체용 하이엔드급 블랭크 마스크를 연내 양산한다. 블랭크마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)용으로 구분되며 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.
- 비메모리 시장의 확대 -> 더 많은 마스크 필요
2. 포토레지스트 (PR)
- SK머티리얼즈, 금호석화 포토레지스트 사업 400억에 인수
출처 : https://www.sedaily.com/NewsView/1YYTX2SFDC
SK머티리얼즈, 금호석화 포토레지스트 사업 400억에 인수
SK머티리얼즈(036490)가 금호석유화학의 전자소재사업을 인수하고 글로벌 반도체 소재 시장에 본격 진출한다. 금호석유화학 전자소재사업 부문은 일본 정부가 지난해 수출규제 대상에 올려 주목 받은 반도체 공정의 ..
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- 동진쎄미켐 포토레지스트 및 Wet chemical (노광공정 후에 감광층 등을 박리, 식각, 세척 등에 사용되는 화학제품) 생산. 씬너 국내시장점유율 1등
- 글로벌 m/s 1등 도쿄오카공업 (TOK)
3. 식각공정
- 습식식각, 건식식각
- 식각장비: 테스, 주성엔지니어링 (사업영역 흡사)
- 테스 - PECVD, Gas Phase Etcher
- 주성엔지니어링 - CVD장비 및 Dry Etcher
- 다양한 순도의 액체 불화수소 존재, 디스플레이용 불화수소는 상대적으로 저순도 국산화 용이. 고순도 기체 불화수소는 생산이 매우 어려움. SK머티리얼즈 기체 불화수소 사업에 진입.
- 램테크놀로지 - 1)식각액 2)박리액 3)세정액 4)증착액, 용해액, 현상액 등
- 후성, 솔브레인, SK머티리얼즈
- 플라즈마 식각용 소모 부품 -> 티씨케이
4. 박막공정
- PVD(Physical Vapor Deposition) - Sputtering / Evaporation
- CVD(Chemical Vapor Deposition) - 두 종류 이상의 전구체 또는 가스를 진공 챔버 내 기체상태로 주입
- High-k
- 전구체 - 디엔에프, 메카로, SK머티리얼즈, 한솔케미칼, 오션브릿지, 레이크머티리얼즈
- ALD (Atomic Layer Deposition) - 유진테크, 원익IPS, 주성엔지니어링
- 전구체 기업 투자의 어려운 점: 증착 물질에 따라 매우 다양한 종류 존재, 어떤 소재 전구체가 납품될지 사전 예측 불가(영업기밀사항), 소재 납품이 꾸준히 이루어지는지, 신규 제품 공급 가능성은 없는지 꾸준한 확인 필요
- 디엔에프 사업보고서: 당사는 반도체 소자 형성용 박막 재료 전문기업입니다. / Al 배선재료를 시작으로 Hardmask용 ACL 재료, Gap fill용 SOD 재료 등의 순서로 제품을 다각화 하였으며, 특히 2012년 납품 시작한 DPT 재료는 현재까지 높은 시장점유율을 유지하고 있습니다. 2013년 하반기부터 본격적으로 공급 시작한 High-k 전구체는 DRAM 제조 공정의 핵심인 Capacitor용 재료로 DRAM 미세화에 중심적 역할을 하였고, 같은 해 공급 시작한 저온 공용 SiO/SiN 재료는 V-NAND 양산에 따라 사용량이 점차 증가하여 향후, DPT 재료와 함께 당사 매출 성장의 든든한 버팀목이 될 것으로 예상되고 있습니다. (2019년 반도체 소재 매출 570억, 영업이익 52억 / 2018년 매출 742억, 영업이익 147억 / 2017년 매출 743억 영업이익 151억 vs 시가총액 20.4.30 1135억)
- 메카로 사업보고서: 국내 경쟁사는 SK트리켐㈜, ㈜유피케미칼, ㈜디엔에프, ㈜한솔케미칼, 솔브레인㈜ 등 국내 반도체 원자재 국산화 초창기 진입한 기업 또는 대기업이 주를 이루고 있습니다.
반도체 공정재료 시장에 진입하기 위해 고객사가 원하는 스펙을 확인하고 공정에 실제 적용 하여 테스트를 완료한 후 판매를 할 수 있습니다. 해당 테스트는 스플릿, 볼륨-1, 볼륨-2, 매스볼륨 등 많은 단계를 거쳐야 하며, 약 6개월에서 최대 3년의 시간이 소요됩니다.
당사가 제조하여 공급하고 있는 메탈 히터블록의 경우는 국내점유율 측면에서는 1위를 유지 하고 있으며, 글로벌 경쟁력을 갖고 히터블록 분야에서 최고의 자리를 구축하고 있습니다. 히터블록의 시장점유율은 현재 국내 기준으로 당사가 90%, 타사가 10% 수준으로 추정되어 당사가 점유율 1위를 유지하고 있습니다.
전구체 매출은 디엔에프와 유사하게 2019년도에 감소.
- 오션브릿지 사업보고서: 특히, ALD/CVD 공정용 전구체(Precursor)는 메모리반도체의 미세화 및 적층 소자 기술 양쪽 모두에서 증착 공정 Step이 증가하면서 향후 성장이 기대되는 시장입니다.
